兰州真空设备有限责任公司的前身是一机部所属兰州曙光机械厂。1965年，一机部决定在兰州建立真空设备生产基地，将上海曙光机械制造厂部分内迁兰州，建立新厂，定名为“兰州曙光机械厂”，由一机部直属管理。1973年，“兰州曙光机械厂”由一机部移交给甘肃省机械工业厅管理。1979年9月，改名为“兰州真空设备厂”。1997年，“兰州真空设备厂”因现代企业改制的要求，成立“兰州真空设备有限责任公司”。2003年，按照《中共甘肃省委办公厅、省政府办公厅关于做好调整省属部分国有工业企业管理体制工作的通知》要求，公司下划兰州市，归兰州市经济委员会管理。2004年12月，转归兰州市人民政府国有资产监督管理委员会管理。2014年6月27日，兰州市政府国有资产监督管理委员会与中航科技集团第五院五一〇研究所正式签订了兰州真空“增资扩股”资产重组协议。在省市委、政府、中国航天科技集团、航天科技集团第五研究院和兰州市政府国资委、中国航天510研究所的关怀下、兰州真空设备有限责任公司通过资产重组正式加入中国航天队伍，成为我国航天队伍中的一员。10月24日隆重举行兰州真空设备有限责任公司揭牌仪式。